HG-EM激光橢偏儀是針對(duì)光伏太陽(yáng)能電池高端研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的極致型多入射角激光橢偏儀。可廣泛應(yīng)用于晶體硅太陽(yáng)電池、薄膜太陽(yáng)電池等。

HG-EM激光橢偏儀用于測(cè)量絨面單晶硅或多晶硅太陽(yáng)電池表面減反膜鍍層的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可測(cè)量光滑平面材料上的單層或多層納米薄膜的膜層厚度，以及在632.8nm下折射率n和消光系數(shù)k。

典型納米膜層包括SiNx，ITO，TiO2，SiO2，Al 2O3，HfO2等。應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體、微電子、平板顯示等。HG-EM激光橢偏儀融合多項(xiàng)技術(shù)，采用一體化樣品臺(tái)技術(shù)，兼容測(cè)量單晶和多晶太陽(yáng)電池樣品，并實(shí)現(xiàn)二者的輕松轉(zhuǎn)換。一鍵式多線程操作軟件，使得儀器操作簡(jiǎn)單安全。

特點(diǎn)：

★ 粗糙絨面納米薄膜的高靈敏測(cè)量

★ 原子層量級(jí)的極高靈敏度和準(zhǔn)確度

★ 百毫秒量級(jí)的快速測(cè)量

★ 簡(jiǎn)單方便安全的儀器操作

★ 一鍵式操作

技術(shù)指標(biāo)：